yy易游体育网页版下载官网:森丸电子算计等离子清洗机用托盘专利进步对晶圆的等离子清洗作用
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发布时间：2026-04-15 15:45:13
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国家知识产权局信息数据显现，姑苏森丸电子技术有限公司算计一项名为“一种等离子清洗机用托盘”的专利，授权公告号CN223833067U，请求日期为2024年12月。
专利摘要显现，本实用新型公开了一种等离子清洗机用托盘，归于托盘技术领域，包含托盘本体，所述托盘本体为钛金属结构体，且所述托盘本体上设有包容腔；夹具，所述夹具装置于所述包容腔内，且所述夹具上设有包容槽，以将晶圆包容，所述包容槽旁边面设有至少一个斜向开口，以便于将坐落所述包容槽内的晶圆取出。本实用新型的等离子清洗机用托盘完成了对晶圆的快速取放，相较于传统的抽拉式托盘，有效地避免了金属碎屑颗粒物坠落进入工艺腔室底部或晶圆外表，然后不会对设备腔室内部环境和晶圆外表洁净度发生必定的影响，进步了对晶圆的等离子清洗作用。
天眼查资料显现，姑苏森丸电子技术有限公司，成立于2021年，坐落姑苏市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1432.5352万人民币。经过天眼查大数据分析，姑苏森丸电子技术有限公司共对外出资了1家企业，参加招投标项目9次，产业线条，此外企业还具有行政许可7个。
声明：商场有危险，出资需谨慎。本文为AI根据第三方数据生成，仅供参考，不构成个人出资主张。
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